mtLingwa
Id-dar - Prodotti - Semi-kondutturi - Trasportaturi tal-Kwarz - Id-dettalji
Dgħajsa tat-tindif tal-wafer tal-kwarz

Dgħajsa tat-tindif tal-wafer tal-kwarz

Dgħajsa tat-tindif tal-wejfer tal-kwarz hija mezz użat għat-tindif tal-wejfer fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi.
Materjal: 99.99% tal-kwarz

Ibgħat l-inkjesta

Deskrizzjoni

Karatteristiċi

 

  • Reżistenza għat-temperatura għolja
  • Reżistenza għall-korrużjoni
  • Ilbes reżistenza
  • Faċli biex tnaddaf

Użu: neħħi l-kontaminanti tal-wiċċ

Tiżgura l-kwalità tal-manifattura taċ-ċipep tas-semikondutturi.

 

Applikazzjoni

1. Tindif ta' -Diffużjoni

Użati biex jittrasportaw wejfers permezz ta' stadji ta' tindif ta' bank imxarrab jew ta' immersjoni (eż., tindif RCA) biex jitneħħew kontaminanti organiċi, metalliċi u partikulati qabel proċessi ta'-diffużjoni jew ossidazzjoni f'temperatura għolja.

2. Tindif ta' wara-CMP (Chemical Mechanical Planarization).

Iżomm il-wejfers waqt it-tindif ta' wara-illustrar biex jelimina r-residwi tad-demel likwidu u d-difetti tal-wiċċ, u jiżgura l-aqwa flatness għall-passi sussegwenti tal-litografija.

3. Fabbrikazzjoni ta' Front-Tmiem{-tal--Linja (FEOL)

Impjegat fi stadji kritiċi tat-tindif FEOL fejn huma meħtieġa uċuħ ultra-nodfa għat-tkabbir tal-ossidu tal-bieb, depożizzjoni epitassjali, jew impjantazzjoni tal-jone.

4. Ipproċessar ta' wara-Tmiem-tal--Linja (BEOL)

Jappoġġja l-wejfers waqt it-tindif ta' wara-inċiżjoni jew wara-depożizzjoni biex jitneħħew ir-reżistenti, il-prodotti sekondarji tal-inċiżjoni, u l-impuritajiet metalliċi wara l-formazzjoni tal-interkonnessjoni.

5. Ippakkjar Avvanzat

Jiffaċilita t-tindif tal-wejfer-qabel it-tqattigħ jew it-twaħħil f'ippakkjar IC 2.5D/3D, li jiżgura kontaminazzjoni-interfaces ħielsa għal interkonnessjonijiet affidabbli.

6. Manifattura Fotovoltajka

Użat fil-produzzjoni taċ-ċelloli solari biex tnaddaf is-sottostrati tas-silikon, ittejjeb il-kwalità tal-wiċċ għal assorbiment imtejjeb tad-dawl u effiċjenza tal-konverżjoni tal-enerġija.

 

Proprjetajiet

 

Proprjetajiet Fiżiċi

Valuri

Purità

＞99.99%

Densità

2.2g/ċm3

Trasparenza

＞90%

Ebusija ta' Mohs

5.5--6.5

Punt ta 'Deformazzjoni

1280 grad

Punt ta' Trattib

1750 grad

Punt tat-Ttemprar

1250 grad

Sħana Speċifika (20 - 350 grad )

670J/kg. grad

Konduttività Termali (20 grad)

1.4W/m. grad

Konduttività tas-Sħana (w/mk, 1000 grad)

1.0-1.2

Indiċi refrattiv

1.4585

Koeffiċjent ta 'Espansjoni Termali

5.510 -7ċm/ċm. grad

Hot - Temperatura tax-xogħol

1750--2050 grad

It-Temperatura tas-Servizz għal żmien qasir ta' -

1450 grad

Temperatura ta' Servizz fit-tul -

1100 grad

 

Proprjetajiet Kimiċi

Valuri

Reżistenti għall-aċidu

Aċidu qawwi (ħlief HF), alkali qawwi, soluzzjoni organika

Temperaturi għoljin Reżistenti għall-korrużjoni

Eċċellenti

Kontenut ta' Impurità tal-metall

＜5 ppm

 

Proprjetajiet Elettriku

Valuri

Reżistenza

7107Ω.ċm

Qawwa tal-Insulazzjoni

250 ~ 400Kv / ċm

Kostant Dielettrika

3.7~3.9

Koeffiċjent ta 'Assorbiment Dielettriku

＜410-4

Koeffiċjent tat-Telf Dielettriku

＜110-4

 

Proprjetajiet Mekkaniċi

Valuri

Qawwa Kompressiva

1100MPa

Qawwa tal-liwi

67MPa

Qawwa tat-tensjoni

48MPa

Proporzjon ta' Poisson

0.14~0.17

Modulu ta' Young

72000MPa

Shear Modulus

31000MPa

 

Metodi ta' tindif

 

Tindif bl-immersjoni:

Poġġi l-wejfer fid-dgħajsa tat-tindif, imbagħad għaddas id-dgħajsa tat-tindif fil-likwidu tat-tindif, u żid il-kuntatt bejn il-likwidu tat-tindif u l-wiċċ tal-wejfer billi tneħħi d-dgħajsa tal-wejfer biex ittejjeb l-effett tat-tindif.

 

Tindif bl-isprej:

Stand id-dgħajsa tat-tindif wieqfa fil-kamra tal-isprej, u uża ż-żennuna biex tisprejja l-likwidu tat-tindif fuq il-wiċċ tal-wejfer biex tneħħi l-kontaminanti. 

 

Importanza tat-tindif tad-dgħajjes:

  • Żgura l-indafa tal-wejfer: Wiċċ nadif tal-wejfer huwa kruċjali għall-kwalità tal-manifattura taċ-ċipep tas-semikondutturi, u d-dgħajsa tat-tindif għandha rwol vitali fil-proċess tat-tindif.
  • Tiżgura l-affidabbiltà taċ-ċipep tas-semikondutturi: Tiżgura l-affidabbiltà taċ-ċipep u tnaqqas id-difetti tal-prodott billi tneħħi l-kontaminanti tal-wiċċ.
  • Ittejjeb ir-rendiment taċ-ċipep tas-semikondutturi: Ittejjeb l-indafa tal-wejfers, u b'hekk ittejjeb ir-rendiment taċ-ċipep tas-semikondutturi.

It-tags Popolari: dgħajsa tat-tindif tal-wafer tal-kwarz, iċ-Ċina manifatturi tad-dgħajjes tat-tindif tal-wejfer tal-kwarz, fornituri, fabbrika

Tista 'Tħobb ukoll

Basktijiet tax-Xiri